自动光学检测系统

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设备名称：自动光学检测系统

商品编号：T00473

制造商：平田机工（Hirata）

型号：WLS8000

晶圆尺寸：12寸(300mm)

自动光学检测系统　WLS8000：Configuration  、System Composition

Configuration：Laser microscope　Olympus(OLS3000)

1、Light source：Light source semiconductor laser

2、Scanning method：XY Integrated scanner

3、Detection system：Circular pinhole + Photo multiplier

4、Z drive：Revolver (up/down)、Moving resolution 0.01μm、Built-in scale (Resolution 5nm)、Stroke 10mm、Coarse motion manual Z stage（For alignment）、With fine movement handle、Stroke 70mm（Further adjustable head position by +30 mm）

5、Auto focus：Laser reflection type、Main specifications for "OLS3000"

Light source device（LG-PS2）：

1、Rating：AC100-120V/AC200-240V 3.0A/1.8A 50/60Hz

2、Lamp：Halogen lamp（With dichroic mirror）

3、Lamp type:JCR12V-100WB（Made by USHIO）

4、Method for adjusting light quantity：Voltage adjustment type

5、Color temperature：3100K（When maximum light amount）

6、Cooling method：Forced air cooling