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自动光学检测系统

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设备名称:自动光学检测系统

商品编号:T00473

制造商:平田机工(Hirata)

型号:WLS8000

晶圆尺寸:12寸(300mm)

自动光学检测系统 WLS8000:Configuration  、System Composition

Configuration:Laser microscope Olympus(OLS3000)

1、Light source:Light source semiconductor laser

2、Scanning method:XY Integrated scanner

3、Detection system:Circular pinhole + Photo multiplier

4、Z drive:Revolver (up/down)、Moving resolution 0.01μm、Built-in scale (Resolution 5nm)、Stroke 10mm、Coarse motion manual Z stage(For alignment)、With fine movement handle、Stroke 70mm(Further adjustable head position by +30 mm)

5、Auto focus:Laser reflection type、Main specifications for "OLS3000"

Light source device(LG-PS2):

1、Rating:AC100-120V/AC200-240V 3.0A/1.8A 50/60Hz

2、Lamp:Halogen lamp(With dichroic mirror)

3、Lamp type:JCR12V-100WB(Made by USHIO)

4、Method for adjusting light quantity:Voltage adjustment type

5、Color temperature:3100K(When maximum light amount)

6、Cooling method:Forced air cooling


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