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设备前端模块 EFEM
:设备前端模块 EFEM 、制造商:菲科(PHT)简介:通过安装新型清洁机器人和高速线性移动轴,实现了高速传输系统。 可连接OHT和AGV。通过安装两个对准器可以实现更高的吞吐量、兼容真空保持型和边缘夹紧型(可选)、可用于200mm/300mm(可选)
设备规格:TYK2102-2、TYK2102-3
1、端口数:2个端口、3个端口
2、搬运对象:直径:Φ300±0.2mm、厚度:600μm~850μm
3、作业模式:FOUP 25步 间距10mm(SEMI 标准产品)、FOSB 25步 间距10mm(SEMI 标准产品)
4、电源电压:三相200V±10% 、50/60Hz±5%
5、消耗电流:4kVA 20A、6kVA 30A
6、真空(原压):-80kPa~-90kPa
7、真空(流量):30L/min以上、40L/min以上
8、正压(原压):0.5MPa~0.7MPa
9、正压(流量):30L/min以上、40L/min以上
10、EMO触点输出:2系统(干燥触点)
11、互锁:输入8点/输出8点(绝缘I/O)
12、Robot机器人:Phoenix Engineering Co.,Ltd.
13、Aligner校准器:Phoenix Engineering Co.,Ltd.
14、Load Port装卸器:Phoenix Engineering Co.,Ltd.
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