电源设备清洗装置

服务机构：

驻场情况： 碳汇科技大市场

咨询电话：

邮    箱：

地    址：

新设备：电源设备清洗装置 、制造商：中科集芯（CSCC）

简介：RCA洗浄・酸／アルカリエッチング・レジスト剥離、石英治具やチューブ洗浄機等々、弊社こだわりの液系装置はコストも秀逸です。

仕様：

1、ウェーハサイズ：～φ300m/m

2、HEPA又はULPA：フィルター内蔵

3、ロボット：サーボモーター

4、薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック

5、リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置

6、ULD：lonaizar（オプション）

7、乾燥：S/D. IPA V/D. 引き上げ