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电源设备清洗装置

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新设备:电源设备清洗装置 、制造商:中科集芯(CSCC)

简介:RCA洗浄・酸/アルカリエッチング・レジスト剥離、石英治具やチューブ洗浄機等々、弊社こだわりの液系装置はコストも秀逸です。

仕様:

1、ウェーハサイズ:~φ300m/m

2、HEPA又はULPA:フィルター内蔵

3、ロボット:サーボモーター

4、薬液槽:揺動、超音波洗浄、メガソニック

5、リンス槽:バブリング、QDR、比抵抗計設置

6、ULD:lonaizar(オプション)

7、乾燥:S/D. IPA V/D. 引き上げ


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