服务详情
电源设备清洗装置
新设备:电源设备清洗装置 、制造商:中科集芯(CSCC)
简介:RCA洗浄・酸/アルカリエッチング・レジスト剥離、石英治具やチューブ洗浄機等々、弊社こだわりの液系装置はコストも秀逸です。
仕様:
1、ウェーハサイズ:~φ300m/m
2、HEPA又はULPA:フィルター内蔵
3、ロボット:サーボモーター
4、薬液槽:揺動、超音波洗浄、メガソニック
5、リンス槽:バブリング、QDR、比抵抗計設置
6、ULD:lonaizar(オプション)
7、乾燥:S/D. IPA V/D. 引き上げ
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